不管是半導(dǎo)體廠商、半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，還是潔凈室的建筑商或運(yùn)營(yíng)商，都不得不去推敲將要實(shí)施的所謂“綠色思想”的含義。這是歐盟為減少半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)環(huán)境的**影響所實(shí)施的計(jì)劃的一部分，自2006年7月1日起開(kāi)始生效。很快就要影響到潔凈室及其內(nèi)部的工藝設(shè)備的環(huán)境變革。
歐盟限制使用有害物質(zhì)條例(RoHS)規(guī)定制造廠商對(duì)其生產(chǎn)過(guò)程中或產(chǎn)品中含有的鉛、鎘、汞、含溴阻燃劑等有害物質(zhì)進(jìn)行回收。電器及其他電子產(chǎn)品廢棄物（WEEE）也將通過(guò)制訂收集、處理和循環(huán)利用等相關(guān)的規(guī)定，以避免原來(lái)采取的簡(jiǎn)單掩埋的處理方式。
James Beasley，制造業(yè)研究聯(lián)盟SEMATECH (www.sematech.org) 的**環(huán)境、健康和可靠計(jì)劃經(jīng)理預(yù)測(cè)說(shuō)：“我們濟(jì)初的估計(jì)，對(duì)潔凈室濟(jì)大的影響在于建筑材料，如涂料，目前使用的材料中有些可能會(huì)被限制，甚至?xí)唤故褂谩！?br> 在RoHS要求下，生產(chǎn)含有危害物質(zhì)建筑材料的廠商可能要面臨比較困苦的選擇。例如，塑料供應(yīng)商就必須要找到可以替代溴化物的阻燃劑。不過(guò)，就總體上來(lái)看，Beasley相信，材料供應(yīng)商們對(duì)新的要求已經(jīng)做好充分準(zhǔn)備。
半導(dǎo)體工廠中使用的工藝設(shè)備大部分屬于大型工業(yè)設(shè)備，不能采取掩埋法一埋了之，這種情況也不適用于WEEE的規(guī)范。但這絕不意味著這些工藝設(shè)備可以不進(jìn)行處理。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)SEMI ( www.semi.org )的EHS分會(huì)的**理事Aimee Bordeaux指出，一件工藝設(shè)備有幾千個(gè)部件組成，其中很多都有可能含有具有危害性元素——如鉛——而那些部件的供應(yīng)商則需要做出更多的努力，以期能達(dá)到RoHS和WEEE的要求。“如果某些危害性較大的元素，如鉛出現(xiàn)了泄露，那么你必須要再次進(jìn)行處理。”Bordeaux警告說(shuō)。

半導(dǎo)體廠商也可以比RoHS規(guī)定的時(shí)間更早達(dá)到目標(biāo)。舉個(gè)例子，AMD (www.amd.com)在今年七月份就宣布他們已經(jīng)開(kāi)始提供含